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產品資料
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低濃度臭氧環境測量半導體制造用

產品名稱: 低濃度臭氧環境測量半導體制造用
產品型號: model1200
產品特點: 低濃度臭氧環境測量半導體制造用
測量性能
測量方法:采用紫外線吸收法,依據朗伯-比爾定律,通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
測量范圍:低濃度測量范圍為0至0.2ppm,中濃度測量范圍為0至0.5ppm。
最小指示值:0.0001ppm(0.1ppb),可顯示負值。
精度:線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
漂移:零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。
設備設計

低濃度臭氧環境測量半導體制造用 的詳細介紹

低濃度臭氧環境測量半導體制造用

低濃度臭氧環境測量半導體制造用

測量性能

  • 測量方法:采用紫外線吸收法,依據朗伯-比爾定律,通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
  • 測量范圍:低濃度測量范圍為0至0.2ppm,中濃度測量范圍為0至0.5ppm。
  • 最小指示值:0.0001ppm(0.1ppb),可顯示負值。
  • 精度:線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
  • 漂移:零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。

設備設計

  • 樣品流速:1.5至2升/分鐘。
  • 測量周期:12秒(標準)。
  • 顯示:濃度顯示為LED大寫字母(紅色),信息顯示為綠色小寫字母,兩行顯示。
  • 輸出功能:具備瞬時值0至1V DC的模擬輸出,以及1小時平均值0至1V DC的輸出。同時配備遙測輸出和RS-232C接口。

環境適應性

  • 工作溫度:0至45°C。
  • 工作濕度:10至80%(無冷凝)。
  • 溫度補償功能:內置反應池溫度傳感器。
  • 壓力補償功能:反應池內內置壓力傳感器。

物理特性

  • 電源:AC100V,50/60Hz,約70VA。
  • 外形尺寸:430寬×132高×410深。
  • 重量:約10公斤。

適用場景

Model 1200適用于半導體制造等需要精確監測低濃度臭氧的場所。

測量性能

  • 測量方法:采用紫外線吸收法,依據朗伯-比爾定律,通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
  • 測量范圍:低濃度測量范圍為0至0.2ppm,中濃度測量范圍為0至0.5ppm
  • 最小指示值:0.0001ppm(0.1ppb),可顯示負值
  • 精度:線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
  • 漂移:零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。

設備設計

  • 樣品流速:1.5至2升/分鐘
  • 測量周期:12秒(標準)。
  • 顯示:濃度顯示為LED大寫字母(紅色),信息顯示為綠色小寫字母,兩行顯示
  • 輸出功能:具備瞬時值0至1V DC的模擬輸出,以及1小時平均值0至1V DC的輸出。同時配備遙測輸出和RS-232C接口

環境適應性

  • 工作溫度:0至45°C
  • 工作濕度:10至80%(無冷凝)
  • 溫度補償功能:內置反應池溫度傳感器
  • 壓力補償功能:反應池內內置壓力傳感器

物理特性

  • 電源:AC100V,50/60Hz,約70VA
  • 外形尺寸:430寬×132高×410深
  • 重量:約10公斤

適用場景

Model 1200適用于半導體制造等需要精確監測低濃度臭氧的場所


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