Filgen Os Plasma Coater 鋨等離子鍍膜機
Filgen Os Plasma Coater 鋨等離子鍍膜機
是日本 Filgen 推出的 SEM 樣品前處理設備,采用直流等離子 CVD 技術,解決了傳統濺射、金蒸鍍的顆粒性、熱損傷、環繞性差等痛點,為掃描電鏡樣品提供高質量的導電薄膜制備方案。
該設備采用直流輝光放電負輝光區等離子體 CVD 法,在真空腔室內引入少量氣體,通過輝光放電瞬間形成等離子體,在樣品表面沉積非晶質的鋨導電薄膜。與傳統濺射、金蒸鍍相比,該技術實現了四大核心突破:無顆粒性,非晶質薄膜無顆粒,SEM 成像清晰,還原樣品表面細節;無熱損傷,常溫制膜,無加熱步驟,避免樣品熱變形、開裂;高環繞性,氣體滲透式鍍膜,覆蓋凹凸、孔洞結構,無充電陰影;高安全性與重現性,全自動操作,任何人都可穩定制備一致的薄膜,杜絕人為誤差。
廣泛應用于生物醫學、材料科學、高分子化學、環境科學等領域,為 SEM 掃描電鏡觀察提供高質量的樣品前處理,尤其適用于生物樣品、熱敏性樣品、多孔結構樣品的導電鍍膜,是電鏡實驗室的核心配套設備。
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