超聲波洗槽應(yīng)用小流量超純水循環(huán)純水裝置

超聲波洗槽應(yīng)用小流量超純水循環(huán)純水裝置

? 核心賣點

• 18.2 MΩ·cm 穩(wěn)定：RO + 混床 + 精混床三級，電阻率漂移 < 0.1 MΩ·cm / 24 h
• 在線 TOC ≤ 3 ppb：185 nm UV 氧化 + 電導(dǎo)池檢測，無需額外取瓶
• 0.1 µm 終端：PES 折疊囊式，Particle ≤ 1 pc/L (≥0.2 µm)，終端死體積 < 30 mL
• 高精度控制：流量 0.6 – 6 L/min 任意設(shè)定，PID 變頻恒壓，壓力波動 < ±0.01 MPa
• 高操作性：7 寸觸控 + 一鍵排空 / 一鍵消毒 / 一鍵校準，30 s 完成換柱
• 24 h 連續(xù)：內(nèi)循環(huán)旁路，停機 7 天再啟動 5 min 即達 18 MΩ·cm
• 占地 0.25 m2：600 × 420 × 580 mm，可放桌面或 19" 機架

?? 技術(shù)參數(shù)（KCP-4006LK）

?? 典型使用場景

• 超聲波清洗槽補液：6 L/min 在線循環(huán)，電阻率 ≥18 MΩ·cm，Particle < 1 pc/L
• CMP 后沖洗：恒壓 0.2 MPa，TOC ≤ 3 ppb，無金屬污染
• OLED 蒸鍍掩模清洗：最后一道漂洗，無水印、無顆粒
• 鈣鈦礦電池制備：空穴傳輸層旋涂前沖洗，TOC < 5 ppb
• 實驗室玻璃器皿最后漂洗：18.2 MΩ·cm 即取即用
•